美國最新出口管制僅限制向個(gè)別先進(jìn)芯片制造晶圓廠發(fā)運(yùn)特定型號的中高端DUV浸潤式光刻機(jī)
荷蘭此前頒布的對華出口部分先進(jìn)DUV光刻機(jī)的禁令實(shí)行。當(dāng)?shù)貢r(shí)間1月1日，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥（NASDAQ：ASML/AMS：ASML）在官網(wǎng)發(fā)聲明稱，近日荷蘭政府部分撤銷了此前頒發(fā)的NXT:2050i和NXT:2100i兩個(gè)型號光刻機(jī)的出口許可證，這將對部分中國客戶產(chǎn)生影響。
在此次聲明中阿斯麥稱，預(yù)計(jì)此次出口許可證撤銷及最新的美國出口管制限制不會(huì)對2023年的財(cái)務(wù)情況產(chǎn)生重大影響。
阿斯麥還表示，近期美國政府在與其溝通時(shí)對2023年10月17日發(fā)布的最新出口管制的適用范圍和影響做出了進(jìn)一步澄清。該禁令限制向個(gè)別先進(jìn)芯片制造晶圓廠發(fā)運(yùn)特定型號的中高端DUV浸潤式光刻機(jī)。但這一表態(tài)與此前類似，尚不清楚美國政府是否向其提供了更多信息。
2023年9月1日，荷蘭政府發(fā)布的《先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備法規(guī)》生效。（詳見財(cái)新網(wǎng)報(bào)道《荷蘭出口管制生效 阿斯麥部分DUV光刻機(jī)年后不再對華出口》）該管制生效后，阿斯麥發(fā)運(yùn)NXT：2000i、NXT：2050i、NXT：2100i三個(gè)型號及后續(xù)推出的關(guān)鍵浸潤式光刻系統(tǒng)都必須獲得荷蘭當(dāng)局的許可。荷蘭政府將決定是否授予或拒絕阿斯麥的許可申請。
在阿斯麥當(dāng)時(shí)發(fā)給財(cái)新的一份聲明中，阿斯麥就稱，年底前阿斯麥仍然能夠履行與客戶簽訂的合同，發(fā)運(yùn)前述光刻設(shè)備。從2024年1月1日起，阿斯麥將基本不能獲得對華出口NXT：2000i及后續(xù)推出的關(guān)鍵浸潤式DUV系統(tǒng)的出口許可。
事實(shí)上，由于荷蘭政府發(fā)布的《先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備法規(guī)》有著較長的政策咨詢期，阿斯麥公司、中國晶圓廠和業(yè)界普遍有預(yù)期。而美國于2023年10月17日升級的芯片管制，將光刻機(jī)紅線進(jìn)一步收緊至中國晶圓廠采買更多的NXT:1980Di，這一新限制有何影響、何時(shí)落實(shí)更受關(guān)注。（詳見財(cái)新網(wǎng)報(bào)道《美國升級芯片管制④｜光刻機(jī)紅線再收緊 ASML研判如何影響中國市場》）
阿斯麥CEO溫寧克（Peter Wennink）于2023年10月18日的三季度財(cái)報(bào)會(huì)上稱，“原則上NXT1980Di受美國芯片出口管制限制，但該限制的前提是這些浸潤式光刻機(jī)被用來生產(chǎn)先進(jìn)制程的芯片，我們被告知生產(chǎn)先進(jìn)制程的晶圓廠僅為少數(shù)（a handful of Fabs），這意味著僅有少數(shù)晶圓廠受到限制，大多數(shù)（vast majority）的中國客戶仍無需許可證就可獲得該機(jī)臺，用來生產(chǎn)成熟、中低關(guān)鍵（low-mid critical）制程芯片”。
溫寧克當(dāng)時(shí)還預(yù)計(jì)，2023年10%-15%出貨到中國的光刻機(jī)將會(huì)受到美國新限制的影響。他強(qiáng)調(diào)，NXT1980Di屬于低端浸潤式工具（low-end immersion tool），因此美國出口管制新規(guī)只會(huì)限制中國個(gè)別晶圓廠。“我們也有很多中國客戶用這些機(jī)器生產(chǎn)中端、成熟制程，這些情況下沒有安全的憂慮，我們就可以出貨。”
2023年，ASML向中國客戶的出貨猛增。前三財(cái)季，中國市場營收占比分別為8%、24%、46%，從第四大市場躍居至第一大市場。以光刻機(jī)系統(tǒng)銷售額粗略測算，第三財(cái)季中國大陸外的主要市場銷售額全線暴跌，中國臺灣、韓國、美國市場銷售額分別為12.74億、10.62億、2.65億歐元，分別環(huán)比減少33%、29%、52%，中國大陸銷售額則環(huán)比上升81%，至24.42億歐元，創(chuàng)下單季銷售紀(jì)錄。
這讓外界猜測ASML是否趕在美國限制生效前給中國客戶集中出貨。溫克寧在三季度財(cái)報(bào)會(huì)上稱，“中國市場占比高是因?yàn)橹袊蛻暨^去的訂單很多沒有交付，其中很多訂單都已經(jīng)預(yù)付款?，F(xiàn)在中國大陸外其他市場對成熟制程的需求下降，我們可以給中國客戶更多出貨”。財(cái)報(bào)顯示，第三財(cái)季，中國客戶訂單積壓量占比20%，與以往占比保持一致。
值得一提的是，阿斯麥現(xiàn)年66歲的CEO溫寧克、同樣是66 歲的CTO Martin van den Brink即將于2024年4月24日從阿斯麥退休。CEO一職將由現(xiàn)任首席商業(yè)官（Chief Business Officer）、法國人Christophe Fouquet接任。
溫寧克、Martin van den Brink均為荷蘭人，兩人分別于1999年、1984年加入阿斯麥，并于1999年起均稱為公司高管，分別負(fù)責(zé)財(cái)務(wù)、市場和技術(shù)。2013年起二人分別擔(dān)任阿斯麥的董事長兼CEO、副董事長兼CTO。
在二人帶領(lǐng)下，阿斯麥成功度過了2000年的科網(wǎng)泡沫和2008年的金融危機(jī)，并在2010年研制出EUV工程樣機(jī)，其后迅速占領(lǐng)先進(jìn)制程晶圓制造市場，擊敗佳能、尼康，一躍成為全球光刻機(jī)霸主，目前仍是全球唯一能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的廠商。
隨著地緣政治轉(zhuǎn)向，盡管荷蘭政府2018年決定禁止阿斯麥向中國出口最先進(jìn)的EUV（極紫外線）光刻機(jī)，在2022年10月7日開始的本輪美國半導(dǎo)體出口管制新規(guī)中，溫寧克帶領(lǐng)下的阿斯麥一直扮演了調(diào)停者的角色。中國市場也是過去10年阿斯麥增長最快的市場。
溫寧克在2023年1月就直言美國主導(dǎo)的出口管制將最終導(dǎo)致中國發(fā)展起自己的半導(dǎo)體設(shè)備，出口管制會(huì)阻撓產(chǎn)業(yè)效率和創(chuàng)新。“如果得不到這些設(shè)備，他們就會(huì)自主研發(fā)，這可能需要時(shí)間，但他們最后一定能做到。增加壓力只會(huì)迫使他們加大投入。”
2023年3月，溫寧克到北京參加中國發(fā)展高層論壇，公開行程僅有拜會(huì)商務(wù)部部長王文濤。據(jù)商務(wù)部網(wǎng)站，王文濤向溫寧克傳達(dá)了中國政府為外資創(chuàng)造良好營商環(huán)境的決心，并呼吁共同維護(hù)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定。
一名知情人士當(dāng)時(shí)告訴財(cái)新，溫寧克此次訪華不到一個(gè)星期，除拜會(huì)了商務(wù)部部長王文濤，還召開了員工大會(huì)向中國員工傳遞信心。此外，他還拜訪了中芯國際、華虹半導(dǎo)體等中國市場主要客戶。
與溫寧克多次公開批評妨礙全球化的政策不同，即將上任的阿斯麥CEO Christophe Fouquet給外界的印象更為謹(jǐn)慎，此前鮮少參與政策討論。在2023年11月30日舉行的線上媒體溝通會(huì)上，Christophe Fouquet強(qiáng)調(diào)，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)需要高度合作、很難脫鉤，此前已經(jīng)多次向外界傳達(dá)這一信息，阿斯麥也將繼續(xù)堅(jiān)信這一點(diǎn)。
對于美國政府未來是否會(huì)進(jìn)一步收緊半導(dǎo)體出口管制，Christophe Fouquet稱，“這取決于美國政府最終目標(biāo)是什么，此前禁售EUV就是關(guān)鍵一步，EUV是實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制程的關(guān)鍵，盡管我們也會(huì)給政府一些建議，但后續(xù)完全取決于美國認(rèn)為怎么做是正確的。”
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